超声波振动的焊球或楔,沿着键合焊盘金属摩擦从而形成键合界面。过小的功率会导致过窄、未成形的键合或尾丝翘起;过大的功率导致根部断裂、键合塌陷或焊盘破裂。同时,劈刀的振幅直接影响键合变形。
摸清楚了键合工序的核心工艺参数,辛佟跃跃欲试,准备亲自做一次键合工序的DOE分析。
本章完
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