但光源、透镜、反射镜之类的设备对于顶级光刻机的重要性还是知道的。
【我了个草，这个牛逼了，真牛逼！】
【EUV光刻机的顶尖技术核心之一：光镜。】
【我之前佰度了一下，好像能造出这种光镜的，只有日耳曼过的蔡司公司。】
【好家伙，那这下蔡司是不是要跳起脚来骂娘了？】
【四舍五入一下，我们国家是不是也可以造光刻机了？】
【光学四大顶级公司：蔡司、徕卡、尼康、奥林巴斯，我们学校在用的是‘奥林巴斯CX33显微镜’，蔡司研究级的显微镜太贵了，985级的学校都买不起太多。】
【我眼镜就是蔡司的，没那么贵吧，也就十七万多一副吧，我姐给我配的】
【我曹，楼上你还缺姐夫吗？我可以的。】
【蔡司是真的强，国内三甲医院手术室显微镜基本都是蔡司的。】
【这样说，主播是要打破垄断了吗？】
【讲实话，我真不怎么相信主播能造出来可以用于极紫外光上的反射镜，这环境设备什么的，太简陋了，光学算是尖端科学了，最关键的是，它无法作弊啊，只能一点点的升级。】
【蔡司？蔡司没听说过，葵司是干什么我倒是很熟悉。】
【楼上的，请借一步说话】
.......
直播间内议论纷纷，大家对于韩元说的‘分布式布拉格反射器’都很感兴趣。
虽然听不懂，但在知道‘分布式布拉格反射器’可以用于极紫外光的反射上后顿时都兴奋了起来。
虽然还只是解决了一个零件，但距离国产的顶级光刻机又进了一步。
四舍五入，五纳米机的国产光刻机有了啊。
相比较直播间内兴奋无比的观众，蹲守在直播间内的各国人员已经懵了。
“能用于极紫外光上的分布式布拉格反射器？”
“能用这么简陋的环境制造出来？”
“连净洁工作室都没有，能搓出来顶级的布拉格反射器？”
“这怎么可能？”
“不可能！完全不可能！除非这名主播开创一样新型制备技术，否则以他现在的条件，不可能做到！”
早就判断过韩元条件和科技的各国专家，科学家在听完后逐渐开始怀疑人生。
特别是日耳曼国蔡司公司的相关光学研发专家们已经严重迷茫了。
顶级的光学镜片，有那么好造吗？
还是说，是人类的加工技术太低了？
但物理性质总不可能改变吧？
当光波的波长达到极紫外光光波波段时，绝大多数材料都不具有良好的透射特性，DUV类似的透射光学系统将不再适用这是物理定律啊。
总不可能连目前的物理定律都被打破了吧？
还是说，这名主播能利用眼前这些简陋的设备能做到顶级加工？
但用脑子想了想，蔡司公司的专家就否决掉了这种想法。
应用顶级的短波极紫外光的光刻机，也就是EUV光刻机，它离轴反射系统有它非常独特的难点，这不是一般的投射镜片加工方式能做到的。
比如说其中的难点之一：‘离轴高精度非球面加工’。
如果按照轴对称非球面加工，这个系统的口径会超级大，最大可到540mm口径，加工难度可见一斑。
而这仅仅还是轴对称加工，轴对称加工完成后可以再磨外缘到离轴镜片状态，这样可保证加工和测试精度。
而应用于顶级EUV上的离轴高精度非球面加工在此基础上又做了一次难度相当大的升级。
如按照单片离轴非球面镜片加工，镜片尺寸基本为实际尺寸，那么结果会比补全轴对称尺寸小了很多。
但离轴非球面镜片量测又是个大问题。
除此之外，离轴非球面系统装配也是个超级难点。
不比DUV光刻机，DUV的轴对称系统装配有比较好的量测设备支持，所以很多国家都能研发两位数纳米级的光刻机。
但当轴对称过渡到离轴非球面装配时，由于顶点位置已经失去，定心会非常困难。
像顶级的EUV光刻机中的光源系统物理总长足足有一点三米，而定心不准导致的离轴偏心的影响将非常严重。……
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【我了个草，这个牛逼了，真牛逼！】
【EUV光刻机的顶尖技术核心之一：光镜。】
【我之前佰度了一下，好像能造出这种光镜的，只有日耳曼过的蔡司公司。】
【好家伙，那这下蔡司是不是要跳起脚来骂娘了？】
【四舍五入一下，我们国家是不是也可以造光刻机了？】
【光学四大顶级公司：蔡司、徕卡、尼康、奥林巴斯，我们学校在用的是‘奥林巴斯CX33显微镜’，蔡司研究级的显微镜太贵了，985级的学校都买不起太多。】
【我眼镜就是蔡司的，没那么贵吧，也就十七万多一副吧，我姐给我配的】
【我曹，楼上你还缺姐夫吗？我可以的。】
【蔡司是真的强，国内三甲医院手术室显微镜基本都是蔡司的。】
【这样说，主播是要打破垄断了吗？】
【讲实话，我真不怎么相信主播能造出来可以用于极紫外光上的反射镜，这环境设备什么的，太简陋了，光学算是尖端科学了，最关键的是，它无法作弊啊，只能一点点的升级。】
【蔡司？蔡司没听说过，葵司是干什么我倒是很熟悉。】
【楼上的，请借一步说话】
.......
直播间内议论纷纷，大家对于韩元说的‘分布式布拉格反射器’都很感兴趣。
虽然听不懂，但在知道‘分布式布拉格反射器’可以用于极紫外光的反射上后顿时都兴奋了起来。
虽然还只是解决了一个零件，但距离国产的顶级光刻机又进了一步。
四舍五入，五纳米机的国产光刻机有了啊。
相比较直播间内兴奋无比的观众，蹲守在直播间内的各国人员已经懵了。
“能用于极紫外光上的分布式布拉格反射器？”
“能用这么简陋的环境制造出来？”
“连净洁工作室都没有，能搓出来顶级的布拉格反射器？”
“这怎么可能？”
“不可能！完全不可能！除非这名主播开创一样新型制备技术，否则以他现在的条件，不可能做到！”
早就判断过韩元条件和科技的各国专家，科学家在听完后逐渐开始怀疑人生。
特别是日耳曼国蔡司公司的相关光学研发专家们已经严重迷茫了。
顶级的光学镜片，有那么好造吗？
还是说，是人类的加工技术太低了？
但物理性质总不可能改变吧？
当光波的波长达到极紫外光光波波段时，绝大多数材料都不具有良好的透射特性，DUV类似的透射光学系统将不再适用这是物理定律啊。
总不可能连目前的物理定律都被打破了吧？
还是说，这名主播能利用眼前这些简陋的设备能做到顶级加工？
但用脑子想了想，蔡司公司的专家就否决掉了这种想法。
应用顶级的短波极紫外光的光刻机，也就是EUV光刻机，它离轴反射系统有它非常独特的难点，这不是一般的投射镜片加工方式能做到的。
比如说其中的难点之一：‘离轴高精度非球面加工’。
如果按照轴对称非球面加工，这个系统的口径会超级大，最大可到540mm口径，加工难度可见一斑。
而这仅仅还是轴对称加工，轴对称加工完成后可以再磨外缘到离轴镜片状态，这样可保证加工和测试精度。
而应用于顶级EUV上的离轴高精度非球面加工在此基础上又做了一次难度相当大的升级。
如按照单片离轴非球面镜片加工，镜片尺寸基本为实际尺寸，那么结果会比补全轴对称尺寸小了很多。
但离轴非球面镜片量测又是个大问题。
除此之外，离轴非球面系统装配也是个超级难点。
不比DUV光刻机，DUV的轴对称系统装配有比较好的量测设备支持，所以很多国家都能研发两位数纳米级的光刻机。
但当轴对称过渡到离轴非球面装配时，由于顶点位置已经失去，定心会非常困难。
像顶级的EUV光刻机中的光源系统物理总长足足有一点三米，而定心不准导致的离轴偏心的影响将非常严重。……
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