第二百七十二章:十纳米级的碳基芯片?-第2/3页

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  对,就是想法都没有,而不是有了想法无法实现。

  所以全世界的科学家压根就没法想象一纳米级波长的光源到底是怎么制造并控制的。

  .......

  对于直播间内观众的提问,韩元只是笑了笑,没有否认也没有确认,而是将目光投向桌面上铺开的光刻机图纸,接着道:

  “这一次我制备的光刻机,其所有的结构图纸都在这里了。”

  “其主体总共分成激光发生器、能量控制器、光速控制器、光镜器、掩膜台、曝光台、测量器、减震装置总计八大部分。”

  “这八大部分是构成光刻机的主体结构。”

  “当然,除此之外还有晶体管计算机、外部操控调节装置等等。”

  一边说,韩元一边将桌上的图纸整理了一下,然后从里面找到减震装置相关的图纸,卷了起来拿在手上朝着合金冶炼厂走去。

  “大家都知道,因为加工精度极高的芯片级的光刻机对存放的环境有异常严格的要求。”

  “即便是一台小汽车从房间外行驶而过都会对光刻机的精度造成影响。”

  “所以除了放置光刻机的楼层一般都会有特殊的避震设计外,光刻机本身也会自带隔振器,起到保护作用。”

  而直播间里面的网友见韩元避开碳基芯片不正面回答他们的问题,纷纷在直播间里面声讨衰鸣装可怜起来。

  .......

  韩元看了眼弹幕,笑道:“隔振装置一般分成两种。”

  “第一种是被动隔振,像弹簧、橡胶、海绵、泡沫等这些都属于被动隔振装置或材料。”

  “这些装置或材料通过减小传递到接受结构的振动强度来实现减震,有着结构简单、易于实现、工作可靠、不需要额外消耗外界能源等优点”

  “但缺点是避震效果一般,对于高精密的仪器比如光刻机或者光学透镜来说基本没什么用。”

  “第二种则是主动隔振装置。”

  “这种装置其实就是一个个的动作器,但这些动作器能根据检测到的振动信号,应用一定的控制策略驱动作动器,从而达到抑制或消除振动的目的。”

  “我手中的图纸上绘制的,就是一种高性能的主动隔振装置。”

  说着,韩元也来到了合金冶炼厂,推开大门,手中的图纸铺开,展示给观众看。

  从最上面的整体结构图来看,绘制出来的主动隔振装置就像一张床垫一样。

  翻开第二页、第三页、第四页.......直播间里面的观众才看到里面精密无比的零件构造。

  繁多的零件上都标注着对应的名字,有传感器、测振仪、空气弹簧、作动器、驱动器、激动器等等等。

  偌大的白纸上,密密麻麻的全是各种复杂的线条结构图和标注,看的直播间里面的观众眼花缭乱的。

  .......

  看到起哄的弹幕,韩元笑了笑,没再管这些,开始着手制备‘VA-AV形主动隔振装置’的相关合金零件。

  这其中就包括一种名为VA系列的柔软性金属制造的空气弹簧,其构成绝大部分是金属配件,包含了少量的外部橡胶。

  看起来有些类似于电竞椅上的那种可升降的气压杆,或者说千斤顶,只是结构要复杂多了。

  找齐需要的合金,韩元启用了电热坩埚。

  虽然电热坩埚一次性能融化的合金量相对较少,但提升温度极为迅速,能节省出大量预热时间。

  称量配备好的金属材料钛、铬、低碳钢、铜等材料放入坩埚中,电能供应上,坩埚迅速从红变白,里面的合金熔化,然后倒出来。

  先进行去硫、去碳、消除金属气体等处理,然后将得到的金属块重新融化,在进行退火处理,使其不易弯曲成形。

  然后再进行淬火+中温回火的热处理工艺,可以得到‘回火托氏体’,等待自然冷却后可以得到有较高的弹性极限、屈服点、以及很强韧性的金属材料。

  这样的金属材料可以用作‘金属空气弹簧’的主体支撑结构。

  不过这还只是合金材料,还需要使用M1级多轴加工仪进行切削加工处理。

  相对比熔制合金使用模具一次性成型来说算得上比较复杂了。

  但没办法,科技越是发展,很多仪器的零部件对材料的要求就越高。……
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